拡散接合（熱圧着）とは 　精密治具・部品　薄膜用吸着板　ハイサイクル金型・熱交換製品 

薄膜やフィルムをエアーで固定する吸着板を拡散接合を活用して製作

曲線流路を配置した下板と、その流路に沿って穴を開けた上板を接合することで製品形状に合わせた吸着板を製作することが可能です。
薄板ガラスや薄膜フィルム、セラミックシートを固定する吸着板も拡散接合を活用して制作できます。
外形の寸法や形状だけでなく、吸着部の穴の直径やピッチ、吸着口の仕様や位置が自由に設計できます。
また、吸入流路の設計も自由にできるため吸着エリアの範囲や区分けも可能です。
拡散接合は塑性変形を抑えた接合方法のため、吸着面に高い平面度をえられ吸着するワークの変形を最小限に抑えられます。
機械的な固定による製品表面のキズや固定跡が残ることがなくなり歩留まり向上に役立ちます。
拡散接合後は金属同士が一体化しているため、切削等の仕上げ加工も問題なく作業することができます。

主な用途（採用されている業界）
・フィルム加工メーカー（フィルムの搬送及び位置固定）
・半導体製造装置メーカー（シリコンウエハーの搬送及び位置固定）
・樹脂加工メーカー（樹脂製品の搬送）他